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[1]王　锐,杨　浩*.平滑处理和扫描范围对多孔膜原子力显微镜分析的影响[J].武汉工程大学学报,2015,37(07):34-39.[doi:10. 3969/j. issn. 1674-2869. 2015. 07.008]
　.Ｉｎｆｌｕｅｎｃｅ ｏｆ ｆｌａｔｔｅｎｉｎｇ ａｎｄ ｓｃａｎ ｓｉｚｅ ｏｎ ｓｕｒｆａｃｅ ａｎａｌｙｓｉｓ ｏｆ ｐｏｒｏｕｓ ｆｉｌｍ ｕｓｉｎｇ ａｔｏｍｉｃ ｆｏｒｃｅ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ[J].Journal of Wuhan Institute of Technology,2015,37(07):34-39.[doi:10. 3969/j. issn. 1674-2869. 2015. 07.008]
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平滑处理和扫描范围对多孔膜原子力显微镜分析的影响(/HTML)
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《武汉工程大学学报》[ISSN:1674-2869/CN:42-1779/TQ]

卷:
37
期数:
2015年07期
页码:
34-39
栏目:
化学与化学工程
出版日期:
2015-07-31

文章信息/Info

Title:
Ｉｎｆｌｕｅｎｃｅ ｏｆ ｆｌａｔｔｅｎｉｎｇ ａｎｄ ｓｃａｎ ｓｉｚｅ ｏｎ ｓｕｒｆａｃｅ ａｎａｌｙｓｉｓ ｏｆ ｐｏｒｏｕｓ ｆｉｌｍ ｕｓｉｎｇ ａｔｏｍｉｃ ｆｏｒｃｅ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ
文章编号:
1674-2869(2015)07-0034-06
作者:
王　锐; 杨　浩*
武汉工程大学化工与制药学院，湖北 武汉 ４３００７４
Author(s):
ＷＡＮＧ Ｒｕｉ;  ＹＡＮＧ Ｈａｏ
Ｓｃｈｏｏｌ ｏｆ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ ａｎｄ Ｐｈａｒｍａｃｙ， Ｗｕｈａｎ Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ ｏｆ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ， Ｗｕｈａｎ ４３００７４， Ｃｈｉｎａ
关键词:
原子力显微镜; 平滑处理; 扫描范围; 多孔膜; 表面粗糙度
Keywords:
ａｔｏｍｉｃ ｆｏｒｃｅ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ;  ｆｌａｔｔｅｎｉｎｇ;  ｓｃａｎ ｓｉｚｅ;  ｐｏｒｏｕｓ ｆｉｌｍ;  ｓｕｒｆａｃｅ ｒｏｕｇｈｎｅｓｓ
分类号:
Ｏ０４－３４；ＴＨ７４２.９
DOI:
10. 3969/j. issn. 1674-2869. 2015. 07.008
文献标志码:
A
摘要:
原子力显微镜（ＡＦＭ）能获得材料表面形貌、三维图、表面粗糙度等信息，是定量分析材料表面的主要工具之一. 以自制的多孔膜为研究对象，通过对ＡＦＭ图像的平滑处理以及改变扫描范围，系统研究了上述因素对多孔膜孔深和表面粗糙度参数测量的影响. 结果表明，多孔膜的ＡＦＭ图像经平滑处理后局部会发生扭曲，多孔部分与膜之间的界限变得模糊，使孔深测量偏差较大，不能完全反映膜的表面微观结构. 当扫描范围较小时（≤２ ?滋ｍ×２ ?滋ｍ），孔深和表面粗糙度参数测量的相对误差较小，而不同扫描范围下得到的表面粗糙度参数的相对标准偏差有较大差异. 最大高度和最大孔深的相对标准偏差达到了２５％以上，平均粗糙度和均方根粗糙度相对标准偏差在１５％左右，而平均最大孔深的相对标准偏差小于３．５％.
Abstract:
Ａｔｏｍｉｃ ｆｏｒｃｅ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ （ＡＦＭ） ｉｓ ｏｎｅ ｏｆ ｔｈｅ ｐｏｗｅｒｆｕｌ ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ ｗｈｉｃｈ ｃａｎ ａｃｑｕｉｒｅ ｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ ａｂｏｕｔ ｓｕｒｆａｃｅ ｍｏｒｐｈｏｌｏｇｙ， ｔｈｒｅｅ－ｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌ （３Ｄ） ｉｍａｇｅ ａｎｄ ｓｕｒｆａｃｅ ｒｏｕｇｈｎｅｓｓ ｏｆ ｍａｔｅｒｉａｌｓ． Ｔａｋｉｎｇ ｈｏｍｅ－ｍａｄｅ ｃｈｉｔｏｓａｎ ｐｏｒｏｕｓ ｆｉｌｍ ａｓ ｔｈｅ ｒｅｓｅａｒｃｈ ｏｂｊｅｃｔ， ｔｈｅ ｉｎｆｌｕｅｎｃｅs ｏｆ ｓｃａｎ ｓｉｚｅ ａｎｄ ｆｌａｔｔｅｎｉｎｇ ｏｆ ｔｈｅ ＡＦＭ ｉｍａｇｅ ｏｎ ｔｈｅ ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ ｏｆ ｍｏｒｐｈｏｌｏｇｙ， ｐｏｒｅ ｄｅｐｔｈ ａｎｄ ｓｕｒｆａｃｅ ｒｏｕｇｈｎｅｓｓ ｐａｒａｍｅｔｅｒｓ ｗｅｒｅ ｓｙｓｔｅｍａｔｉｃａｌｌｙ ｓｔｕｄｉｅｄ． Ｔｈｅ ｒｅｓｕｌｔｓ ｓｈｏｗ ｔｈａｔ ＡＦＭ ｉｍａｇｅｓ， ｗｈｉｃｈ ａｒｅ ｌｏｃａｌｌｙ ｓｍｏｏｔｈ， ｆｌｕｃｔｕａｔｅ ｏｖｅｒａｌｌ ａｔ ｌａｒｇｅｒ ｓｃａｎ ｓｉｚｅ． Ｂｅｓｉｄｅｓ， ＡＦＭ ｉｍａｇｅｓ ｄｉｓｔｏｒｔ ｐａｒｔｉａｌｌｙ ａｆｔｅｒ ｔｈｅｙ ｈａｖｅ ｂｅｅｎ ｆｌａｔｔｅｎ， ａｎｄ ｔｈｅ ｂｏｕｎｄａｒｉｅｓ ｂｅｔｗｅｅｎ ｔｈｅ ｐｏｒｅ ａｎｄ the ｆｉｌｍ ｂｅｃｏｍｅ ｂｌｕｒｒｙ， ｗｈｉｃｈ ｅｎｌａｒｇｅｓ ｔｈｅ ｄｅｖｉａｔｉｏｎ ｏｆ ｔｈｅ ｍｅａｓｕｒｅｄ ｐｏｒｅ ｄｅｐｔｈ ａｎｄ ｏｂｓｃｕｒｅｓ ｔｈｅ ｒｅａｌ ｓｕｒｆａｃｅ ｍｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓ． Ｔｈｅ ｒｅｌａｔｉｖｅ ｅｒｒｏｒｓ ｏｆ ｔｈｅ ｐｏｒｅ ｄｅｐｔｈ ｄｅｃｒｅａｓｅ ｄｒａｍａｔｉｃａｌｌｙ ｗｉｔｈ ｔｈｅ ｒｅｄｕｃｔｉｏｎ ｏｆ ｔｈｅ ｓｃａｎ ｓｉｚｅ， ａｎｄ ｔｈｅｙ ａｒｅ ｓｍａｌｌｅｒ ａｔ ｍｉｎｏｒ ｓｃａｎ ｓｉｚｅｓ ｏｆ ≤２　?滋ｍ×２　?滋ｍ． Ｍｅａｎｗｈｉｌｅ， ｆｌａｔｔｅｎｉｎｇ ｔｈｅ ＡＦＭ ｉｍａｇｅｓ ｄｅｃｒｅａｓｅｓ ｔｈｅ ａｃｃｕｒａｃｙ ｏｆ ｔｈｅ ｐｏｒｅ ｄｅｐｔｈ． Ｗｉｔｈ ｒｅｇａｒｄ ｔｏ ｖａｒｉｏｕｓ ｓｕｒｆａｃｅ ｒｏｕｇｈｎｅｓｓ ｐａｒａｍｅｔｅｒｓ， ｔｈｅｉｒ ｒｅｌａｔｉｖｅ ｓｔａｎｄａｒｄ ｄｅｖｉａｔｉｏｎｓ ｓｈｏｗ ｓｉｇｎｉｆｉｃａｎｔ ｄｉｆｆｅｒｅｎｃｅｓ ｕｎｄｅｒ ｖａｒｉａｎｔ ｓｃａｎ ｓｉｚｅｓ． Ｔｈｅ ｒｅｌａｔｉｖｅ ｓｔａｎｄａｒｄ ｄｅｖｉａｔｉｏｎ ｏｆ ｍａｘ ｈｉｇｈ ａｎｄ ｍａｘ ｐｅａｋ ｉｓ ｏｖｅｒ ２５％， ａｎｄ ｔｈａｔ ｏｆ ｍｅａｎ ｒｏｕｇｈｎｅｓｓ ａｎｄ ｒｏｏｔ ｍｅａｎ ｓｑｕａｒｅ ｒｏｕｇｈｎｅｓｓ ｉｓ ａｂｏｕｔ １５％． Ｎｅｖｅｒｔｈｅｌｅｓｓ， ｔｈｅ ｒｅｌａｔｉｖｅ ｓｔａｎｄａｒｄ ｄｅｖｉａｔｉｏｎ ｏｆ ａｖｅｒａｇｅ ｍａｘ ｄｅｐｔｈ ｉｓ ｌｅｓｓ ｔｈａｎ ３．５％．

参考文献/References:

［１］　ＭＵＬＬＥＲ Ｄ Ｊ，ＤＵＦＲＥＮＥ Ｙ Ｆ． Ａｔｏｍｉｃ ｆｏｒｃｅ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ：ａ ｎａｎｏｓｃｏｐｉｃ ｗｉｎｄｏｗ ｏｎ ｔｈｅ ｃｅｌｌ ｓｕｒｆａｃｅ［Ｊ］． Ｔｒｅｎｄｓ Ｃｅｌｌ Ｂｉｏｌ， ２０１１， ２１（８）： ４６１－４６９．［２］　杨浩， 宋涛， 赵慧平， 等． 大肠杆菌在原子力显微镜下的观测及其形貌［Ｊ］． 武汉工程大学学报， ２０１２， ３４（１２）：８－１２．ＹＡＮＧ Ｈａｏ， ＳＯＮＧ Ｔａｏ， ＺＨＡＯ Ｈｕｉ－ｐｉｎｇ， ｅｔ ａｌ． Ｉｍａｉｎｇ ａｎｄ ｍｏｒｐｈｏｌｏｇｙ ｏｆ Ｅｓｃｈｅｒｉｃｈｉａ ｃｏｌｉ ｕｓｉｎｇ ａｔｏｍｉｃ ｆｏｒｃｅ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ［Ｊ］． Ｊ Ｗｕｈａｎ Ｉｎｓｔ Ｔｅｃｈ， ２０１２， ３４（１２）：８－１２． （ｉｎ Ｃｈｉｎｅｓｅ）［３］　ＷＯＮＧ Ｐ Ｃ Ｙ， ＫＷＯＮ Ｙ Ｎ， ＣＲＩＤＤＬＥ Ｃ Ｓ． Ｕｓｅ ｏｆ ａｔｏｍｉｃ ｆｏｒｃｅ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ ａｎｄ ｆｒａｃｔａｌ ｇｅｏｍｅｔｒｙ ｔｏ ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｚｅ ｔｈｅ ｒｏｕｇｈｎｅｓｓ ｏｆ ｎａｎｏ－， ｍｉｃｒｏ－， ａｎｄ ｕｌｔｒａｆｉｌｔｒａｔｉｏｎ ｍｅｍｂｒａｎｅｓ［Ｊ］． Ｊ Ｍｅｍｂｒ Ｓｃｉ， ２００９， ３４０（１－２）： １１７－１３２．［４］　江川， 汪建华， 熊礼威， 等． 基片温度对纳米金刚石薄膜制备的影响［Ｊ］． 武汉工程大学学报， ２０１２， ３４（４）： ３９－４２．ＪＩＡＮＧ Ｃｈｕｎ， ＷＡＮＧ Ｊｉａｎ－ｈｕａ， ＸＩＯＮＧ Ｌｉ－ｗｅｉ， ｅｔ ａｌ． Ｉｎｆｌｕｅｎｃｅ ｏｆ ｓｕｂｓｔｒａｔｅ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ ｏｎ ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎ ｏｆ ｎａｎｏ－ｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ ｄｉａｍｏｎｄ ｆｉｌｍｓ［Ｊ］． Ｊ Ｗｕｈａｎ Ｉｎｓｔ Ｔｅｃｈ， ２０１２， ３４（４）：３９－４２． （ｉｎ Ｃｈｉｎｅｓｅ）［５］　ＨＯＯ Ｃ Ｍ， ＳＴＡＲＯＳＴＩＮ Ｎ， ＷＥＳＴ Ｐ， ｅｔ ａｌ． Ａ ｃｏｍｐａｒｉｓｏｎ ｏｆ ａｔｏｍｉｃ ｆｏｒｃｅ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ （ＡＦＭ） ａｎｄ ｄｙｎａｍｉｃ ｌｉｇｈｔ ｓｃａｔｔｅｒｉｎｇ （ＤＬＳ） ｍｅｔｈｏｄｓ ｔｏ ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｚｅ ｎａｎｏｐａｒｔｉｃｌｅ ｓｉｚｅ ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎｓ［Ｊ］． Ｊ Ｎａｎｏｐａｒｔ Ｒｅｓ， ２００８（１０）：８９－９６．［６］　ＺＨＡＮＧ Ｓ， ＡＮＤＲＥＡＳＥＮ Ｍ， ＮＩＥＬＳＥＮ Ｊ Ｔ， ｅｔ ａｌ． Ｃｏｅｘｉｓｔｅｎｃｅ ｏｆ ｒｉｂｂｏｎ ａｎｄ ｈｅｌｉｃａｌ ｆｉｂｒｉｌｓ ｏｒｉｇｉｎａｔｉｎｇ ｆｒｏｍ ｈＩＡＰＰ（２０－２９） ｒｅｖｅａｌｅｄ ｂｙ ｑｕａｎｔｉｔａｔｉｖｅ ｎａｎｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ａｔｏｍｉｃ ｆｏｒｃｅ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ［Ｊ］． Ｐｒｏｃ Ｎａｔｌ Ａｃａｄ Ｓｃｉ Ｕ Ｓ Ａ， ２０１３， １１０（８）： ２７９８－２８０３．［７］　ＫＡＴＡＮ Ａ Ｊ， ＤＥＫＫＥＲ Ｃ． Ｈｉｇｈ－ｓｐｅｅｄ ＡＦＭ ｒｅｖｅａｌｓ ｔｈｅ ｄｙｎａｍｉｃｓ ｏｆ ｓｉｎｇｌｅ ｂｉｏｍｏｌｅｃｕｌｅｓ ａｔ ｔｈｅ ｎａｎｏｍｅｔｅｒ ｓｃａｌｅ［Ｊ］． Ｃｅｌｌ， ２０１１， １４７（５）： ９７９－９８２．［８］　ＺＨＡＮＧ Ｊ， ＣＨＥＮ Ｐ Ｃ， ＹＵＡＮ Ｂ Ｋ， ｅｔ ａｌ． Ｒｅａｌ－ｓｐａｃｅ ｉｄｅｎｔｉｆｉｃａｔｉｏｎ ｏｆ ｉｎｔｅｒｍｏｌｅｃｕｌａｒ ｂｏｎｄｉｎｇ ｗｉｔｈ ａｔｏｍｉｃ ｆｏｒｃｅ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ［Ｊ］． Ｓｃｉｅｎｃｅ， ２０１３， ３４２（６１５８）： ６１１－６１４．［９］　ＫＡＶＥＩ Ｇ， ＺＡＲＥ Ｙ， ＧＨＥＩＤＡＲＩ Ａ Ｍ． Ｅｖａｌｕａｔｉｏｎ ｏｆ ｓｕｒｆａｃｅ ｒｏｕｇｈｎｅｓｓ ａｎｄ ｎａｎｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅ ｏｆ ｉｎｄｉｕｍ ｔｉｎ ｏｘｉｄｅ （ＩＴＯ） ｆｉｌｍｓ ｂｙ ａｔｏｍｉｃ ｆｏｒｃｅ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ［Ｊ］． Ｓｃａｎｎｉｎｇ， ２００８， ３０（３）： ２３２－２３９．［１０］　ＺＨＡＮＧ Ｗ， ＳＴＡＣＫ Ａ Ｇ， ＣＨＥＮ Ｙ Ｓ． Ｉｎｔｅｒａｃｔｉｏｎ ｆｏｒｃｅ ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ ｂｅｔｗｅｅｎ Ｅ． ｃｏｌｉ ｃｅｌｌｓ ａｎｄ ｎａｎｏｐａｒｔｉｃｌｅｓ ｉｍｍｏｂｉｌｉｚｅｄ ｓｕｒｆａｃｅｓ ｂｙ ｕｓｉｎｇ ＡＦＭ［Ｊ］． Ｃｏｌｌｏｉｄｓ Ｓｕｒｆ Ｂ－Ｂｉｏｉｎｔｅｒｆａｃｅｓ， ２０１１， ８２（２）： ３１６－３２４．［１１］　ＪＡＧＥＲ Ｊ， ＭＯＯＳＢＵＲＧＥＲ－ＷＩＬＬ Ｊ， ＨORN Ｓ． Ｄｅｔｅｒｍｉｎａｔｉｏｎ ｏｆ ｎａｎｏ－ｒｏｕｇｈｎｅｓｓ ｏｆ ｃａｒｂｏｎ ｆｉｂｅｒｓ ｂｙ ａｔｏｍｉｃ ｆｏｒｃｅ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ［Ｊ］． Ｊ Ｍａｔｅｒ Ｓｃｉ， ２０１３， ４８（１９）： ６８０３－６８１０．［１２］　ＭＵＫＨＥＲＪＥＥ Ｒ， ＣＨＡＵＤＨＵＲＹ Ｋ， ＤＡＳ Ｓ， ｅｔ ａｌ． Ｐｏｓｔｅｒｉｏｒ ｃａｐｓｕｌａｒ ｏｐａｃｉｆｉｃａｔｉｏｎ ａｎｄ ｉｎｔｒａｏｃｕｌａｒ ｌｅｎｓ ｓｕｒｆａｃｅ ｍｉｃｒｏ－ｒｏｕｇｈｎｅｓｓ ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓ： Ａｎ ａｔｏｍｉｃ ｆｏｒｃｅ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ ｓｔｕｄｙ［Ｊ］． Ｍｉｃｒｏｎ， ２０１２， ４３（９）： ９３７－９４７．［１３］　ＤＡ ＳＩＬＶＡ Ｍ Ａ Ｂ， ＦＡＲＤＩＮ Ａ Ｂ， ｄｅ Ｖａｓｃｏｎｃｅｌｌｏｓ Ｒ Ｃ Ｃ， ｅｔ ａｌ． Ａｎａｌｙｓｉｓ ｏｆ ｒｏｕｇｈｎｅｓｓ ａｎｄ ｓｕｒｆａｃｅ ｈａｒｄｎｅｓｓ ｏｆ ａ ｄｅｎｔａｌ ｃｏｍｐｏｓｉｔｅ ｕｓｉｎｇ ａｔｏｍｉｃ ｆｏｒｃｅ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ ａｎｄ ｍｉｃｒｏｈａｒｄｎｅｓｓ ｔｅｓｔｉｎｇ［Ｊ］． Ｍｉｃｒｏｓｃ Ｍｉｃｒｏａｎａｌ， ２０１１， １７（３）： ４４６－４５１．［１４］　ＳＡＮＴＯＳ Ｒ Ｐ， ＡＲＲＵＤＡ Ｔ Ｔ Ｐ， ＣＡＲＶＡＬＨＯ Ｃ Ｂ Ｍ， ｅｔ ａｌ． Ｃｏｒｒｅｌａｔｉｏｎ ｂｅｔｗｅｅｎ Ｅｎｔｅｒｏｃｏｃｃｕｓ ｆａｅｃａｌｉｓ ｂｉｏｆｉｌｍｓ ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ ｓｔａｇｅ ａｎｄ ｑｕａｎｔｉｔａｔｉｖｅ ｓｕｒｆａｃｅ ｒｏｕｇｈｎｅｓｓ ｕｓｉｎｇ ａｔｏｍｉｃ ｆｏｒｃｅ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ［Ｊ］． Ｍｉｃｒｏｓｃ Ｍｉｃｒｏａｎａｌ， ２００８， １４（２）： １５０－１５８．［１５］　ＧＩＲＡＳＯＬＥ Ｍ， ＰＯＭＰＥＯ Ｇ， ＣＲＩＣＥＮＴＩ Ａ， ｅｔ ａｌ． Ｔｈｅ ｈｏｗ， ｗｈｅｎ， ａｎｄ ｗｈｙ ｏｆ ｔｈｅ ａｇｉｎｇ ｓｉｇｎａｌｓ ａｐｐｅａｒｉｎｇ ｏｎ ｔｈｅ ｈｕｍａｎ ｅｒｙｔｈｒｏｃｙｔｅ ｍｅｍｂｒａｎｅ： ａｎ ａｔｏｍｉｃ ｆｏｒｃｅ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ ｓｔｕｄｙ ｏｆ ｓｕｒｆａｃｅ ｒｏｕｇｈｎｅｓｓ［Ｊ］． Ｎａｎｏｍｅｄｉｃｉｎｅ－Ｎａｎｏｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｂｉｏｌｏｇｙ ａｎｄ Ｍｅｄｉｃｉｎｅ， ２０１０， ６（６）： ７６０－７６８．［１６］　ＥＶＥＳ Ｂ Ｊ， ＧＲＥＥＮ Ｒ Ｇ． Ｌｉｍｉｔａｔｉｏｎｓ ｏｎ ａｃｃｕｒａｔｅ ｓｈａｐｅ ｄｅｔｅｒｍｉｎａｔｉｏｎ ｕｓｉｎｇ ａｍｐｌｉｔｕｄｅ ｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ ａｔｏｍｉｃ ｆｏｒｃｅ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ［Ｊ］． Ｕｌｔｒａｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ， ２０１２， １１５：１４－２０．［１７］　ＨＲＩＳＴＵ Ｒ， ＳＴＡＮＣＩＵ Ｓ Ｇ， ＳＴＡＮＣＩＵ Ｇ Ａ， ｅｔ ａｌ． Ｉｎｆｌｕｅｎｃｅ ｏｆ ａｔｏｍｉｃ ｆｏｒｃｅ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ ａｃｑｕｉｓｉｔｉｏｎ ｐａｒａｍｅｔｅｒｓ ｏｎ ｔｈｉｎ ｆｉｌｍ ｒｏｕｇｈｎｅｓｓ ａｎａｌｙｓｉｓ［Ｊ］． Ｍｉｃｒｏｓｃ Ｒｅｓ Ｔｅｃｈ，２０１２， ７５（７）： ９２１－９２７．［１８］　ＷＡＮＧ Ｃ Ｍ， ＩＴＯＨ Ｈ． Ｅｖａｌｕａｔｉｏｎ ｏｆ ｅｒｒｏｒｓ ｉｎ ｔｈｅ ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ ｏｆ ｓｕｒｆａｃｅ ｒｏｕｇｈｎｅｓｓ ａｔ ｈｉｇｈ ｓｐａｔｉａｌ ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ ｂｙ ａｔｏｍｉｃ ｆｏｒｃｅ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ ｏｎ ａ ｔｈｉｎ ｆｉｌｍ［Ｊ］． Ｊｐｎ Ｊ Ａｐｐｌ Ｐｈｙｓ，２０１２，５１（８）：０８ＫＢ１１-08KB11-5．［１９］　李家文， 陈宇航， 黄文浩． ＡＦＭ扫描参数对表面粗糙度测量的影响分析［Ｊ］． 电子显微学报， ２００７， ２６（１）：３２－３５．ＬＩ Ｊｉａ－ｗｅｎ， ＣＨＥＮ Ｙｕ－ｈａｎｇ， ＨＵＡＮＧ Ｗｅｎ－ｈａｏ． Ｓｔｕｄｙ ｏｎ ｔｈｅ ｓｃａｎｎｉｎｇ ｐａｒａｍｅｔｅｒｓ ａｆｆｅｃｔｉｎｇ ｓｕｒｆａｃｅ ｒｏｕｇｈｎｅｓｓ ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｓ ｂｙ ＡＦＭ［Ｊ］． Ｊ Ｃｈｉｎ Ｅｌｅｃｔｒ Ｍｉｃｒｏｓｃ Ｓｏｃ， ２００７， ２６（１）：３２－３５．（ｉｎ Ｃｈｉｎｅｓｅ）［２０］　王子仪， 张荣君， 郑玉祥，等． ＡＦＭ扫描参数对样品粗糙度测量的影响［Ｊ］． 实验室研究与探索， ２０１３， ３２（２）： ５－７．ＷＡＮＧ Ｚｉ－ｙｉ， ＺＨＡＮＧ Ｒｏｎｇ－ｊｕｎ， ＺＨＥＮＧ Ｙｕ－ｘｉａｎｇ， ｅｔ ａｌ． Ｉｎｆｌｕｅｎｃｅ ｏｆ ＡＦＭ ｓｃａｎｎｉｎｇ ｐｒａｒａｍｅｔｅｒｓ ｏｎ ｓｕｒｆａｃｅ ｒｏｕｇｈｎｅｓｓ ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ［Ｊ］． Ｒｅｓ Ｅｘｐｌｏｒ Ｌａｂ， ２０１３， ３２（２）： ５－７． （ｉｎ Ｃｈｉｎｅｓｅ）［２１］　ＬＯＰＡＲＩＣ Ｍ， ＷＩＲＺ Ｄ， ＤＡＮＩＥＬＳ Ａ Ｕ， ｅｔ ａｌ． Ｍｉｃｒｏ－ ａｎｄ ｎａｎｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ａｎａｌｙｓｉｓ ｏｆ ａｒｔｉｃｕｌａｒ ｃａｒｔｉｌａｇｅ ｂｙ ｉｎｄｅｎｔａｔｉｏｎ－ｔｙｐｅ ａｔｏｍｉｃ ｆｏｒｃｅ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ： Ｖａｌｉｄａｔｉｏｎ ｗｉｔｈ ａ ｇｅｌ－ｍｉｃｒｏｆｉｂｅｒ ｃｏｍｐｏｓｉｔｅ［Ｊ］． Ｂｉｏｐｈｙｓ Ｊ， ２０１０， ９８（１１）： ２７３１－２７４０．［２２］　ＭＥＮＤＥＺ－ＶＩＬＡＳ Ａ， ＢＲＵＱＵＥ Ｊ Ｍ， ＧＯＮＺＡＬＥＺ－ＭＡＲＴＩＮ Ｍ Ｌ ． Ｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙ ｏｆ ｓｕｒｆａｃｅ ｒｏｕｇｈｎｅｓｓ ｐａｒａｍｅｔｅｒｓ ｔｏ ｃｈａｎｇｅｓ ｉｎ ｔｈｅ ｄｅｎｓｉｔｙ ｏｆ ｓｃａｎｎｉｎｇ ｐｏｉｎｔｓ ｉｎ ｍｕｌｔｉ－ｓｃａｌｅ ＡＦＭ ｓｔｕｄｉｅｓ． Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ ｔｏ ａ ｂｉｏｍａｔｅｒｉａｌ ｓｕｒｆａｃｅ［Ｊ］． Ｕｌｔｒａｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ，２００７，１０７（８）：６１７－６２５．［２３］　ＡＮＴＯＮＩＯ Ｐ Ｄ， ＬＡＳＡＬＶＩＡ Ｍ， ＰＥＲＮＡ Ｇ， ｅｔ ａｌ． Ｓｃａｌｅ－ｉｎｄｅｐｅｎｄｅｎｔ ｒｏｕｇｈｎｅｓｓ ｖａｌｕｅ ｏｆ ｃｅｌｌ ｍｅｍｂｒａｎｅｓ ｓｔｕｄｉｅｄ ｂｙ ｍｅａｎｓ ｏｆ ＡＦＭ ｔｅｃｈｎｉｑｕｅ［Ｊ］． Ｂｉｏｃｈｉｍ Ｂｉｏｐｈｙｓ Ａｃｔａ－Ｂｉｏｍｅｍｂｒ， ２０１２， １８１８（１２）： ３１４１－３１４８．

相似文献/References:

[1]杨浩,宋涛,赵慧平,等.大肠杆菌在原子力显微镜下的观测及其形貌[J].武汉工程大学学报,2012,(12):8.[doi:103969/jissn16742869201212003]
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备注/Memo

备注/Memo:
收稿日期:2015-05-05基金项目:国家自然科学基金项目(21201135);湖北省教育厅科学技术研究计划中青年人才项目（Q20121502）;武汉工程大学第九期大学生校长基金(2014019)作者简介:王锐(1993-),男,湖北天门人,本科,研究方向:功能界面材料.* 通信联系人
更新日期/Last Update: 2015-08-26