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[1]王传新,熊　江,易　成,等.衬底温度对热丝法生长纳米金刚石膜的影响[J].武汉工程大学学报,2015,37(02):36-40.[doi:10. 3969/j. issn. 1674-2869. 2015. 02. 008]
　,,et al.Ｅｆｆｅｃｔ ｏｆ ｓｕｂｓｔｒａｔｅ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ ｏｎ ｎａｎｏｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ ｄｉａｍｏｎｄ ｆｉｌｍｓ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ ｂｙ ｈｏｔ ｆｉｌａｍｅｎｔ ｃｈｅｍｉｃａｌ ｖａｐｏｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ ｔｅｃｈｎｉｑｕｅ[J].Journal of Wuhan Institute of Technology,2015,37(02):36-40.[doi:10. 3969/j. issn. 1674-2869. 2015. 02. 008]
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衬底温度对热丝法生长纳米金刚石膜的影响(/HTML)
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《武汉工程大学学报》[ISSN:1674-2869/CN:42-1779/TQ]

卷:
37
期数:
2015年02期
页码:
36-40
栏目:
材料科学与工程
出版日期:
2015-02-28

文章信息/Info

Title:
Ｅｆｆｅｃｔ ｏｆ ｓｕｂｓｔｒａｔｅ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ ｏｎ ｎａｎｏｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ ｄｉａｍｏｎｄ ｆｉｌｍｓ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ ｂｙ ｈｏｔ ｆｉｌａｍｅｎｔ ｃｈｅｍｉｃａｌ ｖａｐｏｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ ｔｅｃｈｎｉｑｕｅ
文章编号:
1674 － 2869（2015）02 － 0036 － 05
作者:
王传新; 熊　江; 易　成; 范咏志; 王子行
等离子体化学与新材料湖北省重点实验室（武汉工程大学），湖北 武汉４３００７４
Author(s):
ＷＡＮＧ Ｃｈｕａｎ－ｘｉｎ;  ＸＩＯＮＧ Ｊｉａｎｇ;  ＹＩ Ｃｈｅｎｇ;  ＦＡＮ Ｙｏｎｇ－ｚｈｉ;  ＷＡＮＧ Ｚｉ－ｘｉｎｇ
Ｈｕｂｅｉ Ｋｅｙ Ｌａｂｏｒａｔｏｒｙ ｏｆ Ｐｌａｓｍａ Ｃｈｅｍｉｃａｌ ａｎｄ Ａｄｖａｎｃｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ（Ｗｕｈａｎ Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ ｏｆ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ），Ｗｕｈａｎ ４３００７４， Ｃｈｉｎａ
关键词:
纳米金刚石膜; 热丝化学气相沉积; 衬底温度
Keywords:
ｎａｎｏｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ ｄｉａｍｏｎｄ ｆｉｌｍｓ;  ｈｏｔ ｆｉｌａｍｅｎｔ ｃｈｅｍｉｃａｌ ｖａｐｏｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ;  ｓｕｂｓｔｒａｔｅ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ
分类号:
Ｏ４８４
DOI:
10. 3969/j. issn. 1674-2869. 2015. 02. 008
文献标志码:
A
摘要:
采用热丝化学气相沉积法在氩／丙酮／氢气体系中研究衬底温度对纳米金刚石膜生长的影响，使用扫描电子显微镜、Ｘ射线衍射仪、拉曼光谱仪对金刚石膜进行检测. 结果表明衬底温度对金刚石膜的生长模式、形貌、粒径和生长速率有很大影响. 在７５０ ℃衬底温度下生长模式为颗粒状生长模式，呈现纳米金刚石结构，生长速率达到８．４５ μｍ／ｈ；随着衬底温度的降低，金刚石晶粒粒度逐渐变大，由纳米金刚石向微米金刚石转变，生长模式变为柱状生长模式，生长速率逐渐降低；在６００ ℃衬底温度下变为微米金刚石，生长速率下降到１．９５ μｍ／ｈ.
Abstract:
Ｎａｎｏｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ ｄｉａｍｏｎｄ ｆｉｌｍｓ ｗｅｒｅ ｄｅｐｏｓｉｔｅｄ ｕｎｄｅｒ ｖａｒｉｏｕｓ ｓｕｂｓｔｒａｔｅ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｓ ｂｙ ｈｏｔ ｆｉｌａｍｅｎｔ ｃｈｅｍｉｃａｌ ｖａｐｏｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ ｍｅｔｈｏｄ ｗｉｔｈ ａｒｇｏｎ／ａｃｅｔｏｎｅ／ｈｙｄｒｏｇｅｎ ｇａｓ ｍｉｘｔｕｒｅｓ． Ｔｈｅ ａｓ－ｇｒｏｗｎ ｆｉｌｍｓ ｗｅｒｅ ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｚｅｄ ｂｙ ｓｃａｎｎｉｎｇ ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ， Ｘ－ｒａｙ ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ ａｎｄ Ｒａｍａｎ ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ． Ｔｈｅ ｒｅｓｕｌｔｓ ｉｎｄｉｃａｔｅ ｔｈａｔ ｔｈｅ ｓｕｂｓｔｒａｔｅ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ ｈａｓ ａ ｇｒｅａｔ ｅｆｆｅｃｔ ｏｎ ｔｈｅ ｇｒｏｗｔｈ ｍｏｄｅ， ｍｏｒｐｈｏｌｏｇｙ， ｇｒａｉｎ ｓｉｚｅ ａｎｄ ｇｒｏｗｔｈ ｒａｔｅ ｏｆ ｄｉａｍｏｎｄ ｆｉｌｍｓ． Ａｔ ７５０ ℃， ｔｈｅ ｄｉａｍｏｎｄ ｆｉｌｍｓ ｈａｖｅ ｓｍａｌｌ ｇｒａｉｎ ｓｉｚｅ ａｂｏｕｔ ｄｏｚｅｎｓ ｏｆ ｎａｎｏｍｅｔｅｒｓ， ａｎｄ ｔｈｅ ｆｉｌｍｓ ｓｈｏｗ ａ ｇｒｏｗｔｈ ｍｏｄｅ ｏｆ ｇｒａｎｕｌａｒ ｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓ ｗｉｔｈ ａ ｆａｓｔ ｇｒｏｗｔｈ ｒａｔｅ ｒｅａｃｈｉｎｇ ｏｆ ８．４５ μｍ／ｈ． Ｗｉｔｈ ｄｅｃｒｅａｓｉｎｇ ｓｕｂｓｔｒａｔｅ ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ， ｔｈｅ ｄｉａｍｏｎｄ ｇｒａｉｎ ｓｉｚｅ ｂｅｃｏｍｅｓ ｌａｒｇｅｒ， ｔｈｅ ｄｉａｍｏｎｄ ｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ ｃｈａｎｇｉｎｇ ｆｒｏｍ ｎａｎｏｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ ｔｏ ｍｉｃｒｏｎｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ，ｉｔｓ ｇｒｏｗｔｈ ｍｏｄｅ ｂｅｃｏｍｉｎｇ ｃｏｌｕｍｎａｒ ｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓ ａｎｄ ｉｔｓ ｇｒｏｗｔｈ ｒａｔｅ ｄｅｃｒｅａｓｉｎｇ ｇｒａｄｕａｌｌｙ． Ａｔ ６００ ℃， ｔｈｅ ｓｉｚｅ ｏｆ ｄｉａｍｏｎｄ ｆｉｌｍｓ ｂｅｃｏｍｅｓ ｍｉｃｒｏｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ，ｔｈｅ ｇｒｏｗｔｈ ｒａｔｅ ｏｆ ｗｈｉｃｈ ｄｅｃｒｅａｓｅｓ ｔｏ １．９５ μｍ／ｈ．

参考文献/References:

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相似文献/References:

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备注/Memo

备注/Memo:
收稿日期：２０１４－１２－２４作者简介：王传新（１９６５－），男，教授，博士.研究方向：低温等离子体技术.
更新日期/Last Update: 2015-03-21