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[1]刘玉兰,汪建华,熊礼威,等.PET材料表面制备氧化硅薄膜的研究[J].武汉工程大学学报,2010,(05):70-73.[doi:10.3969/j.issn.16742869.2010.05.019]
　LIU Yu lan,WANG Jian hua,XIONG Li wei,et al.The production methods study of SiOx coating film deposited on PET substrate[J].Journal of Wuhan Institute of Technology,2010,(05):70-73.[doi:10.3969/j.issn.16742869.2010.05.019]
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PET材料表面制备氧化硅薄膜的研究(/HTML)
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《武汉工程大学学报》[ISSN:1674-2869/CN:42-1779/TQ]

卷:
期数:
2010年05期
页码:
70-73
栏目:
材料科学与工程
出版日期:
2010-05-31

文章信息/Info

Title:
The production methods study of SiOx coating film
deposited on PET substrate
文章编号:
16742869(2010)05007004
作者:
刘玉兰; 汪建华; 熊礼威; 刘长林
武汉工程大学材料科学与工程学院,等离子体化学与新材料重点实验室，湖北 武汉 430074
Author(s):
LIU Yulan; WANG Jianhua; XIONG Liwei; LIU Changlin
School of Material Science and Engineering，Province Key Laboratory of Plasma Chemistry and
Advanced Material，Wuhan Institute of Technology，Wuhan 430074，China
关键词:
PET; 氧化硅薄膜; 磁控溅射; PECVD; 阻隔性能
Keywords:
PET; SiOx coating film; magnetron sputtering; PECVD; barrier properties
分类号:
TB324；TB43
DOI:
10.3969/j.issn.16742869.2010.05.019
文献标志码:
A
摘要:
为了满足材料在饮料、啤酒等包装领域方面的要求，在PET材料内壁涂覆氧化硅薄膜是一种十分有效的方法.本文分别使用磁控溅射法和微波等离子体化学气相沉积法（PECVD）在PET材料表面制备了氧化硅薄膜，通过结果分析，对两种方法从原理、各自优点等方面进行了比较，并就沉积时间、工作气压、电源功率对各自所沉积薄膜阻隔性的影响作了相应分析，得出了两种方法各自的最佳工艺条件.
Abstract:
Polyethylene terephthalate (PET) has been widely favored in the field of packaging for its good temperature, pressure, stability, and highbarrier and other properties. In order to meet the PET material in the beverage, beer packaging requirements, in the inner wall of PET materials, coating of silicon oxide film is a very effective method. The authors of this article adapted two production methods of SiOx coating film deposited on the PET substrate magnetron sputtering and microware plasma chemical vapor deposition and comparing their principle, virtue separately, also analyzed the relation between the parameters on the barrier properties, such as deposition time, discharge pressure, and plasma power.

参考文献/References:

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相似文献/References:

备注/Memo

备注/Memo:
收稿日期：20100119作者简介：刘玉兰(1980)，女，湖北监利人，中级实验师，硕士研究生.研究方向：高分子材料.指导老师：汪建华，男，教授，博士，博士生导师.研究方向：等离子体技术应用研究.
更新日期/Last Update: