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[1]皮华滨,熊军,汪建华,等.CVD金刚石厚膜力学性能[J].武汉工程大学学报,2009,(01):51-53.
　PI Hua bin,XIONG Jun,WANG Jian hua,et al.The mechanical properties of CVD diamond thick films[J].Journal of Wuhan Institute of Technology,2009,(01):51-53.
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CVD金刚石厚膜力学性能
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《武汉工程大学学报》[ISSN:1674-2869/CN:42-1779/TQ]

卷:
期数:
2009年01期
页码:
51-53
栏目:
资源与土木工程
出版日期:
2009-01-28

文章信息/Info

Title:
The mechanical properties of CVD diamond thick films
文章编号:
16742869(2009)01005103
作者:
皮华滨1; 熊军1; 汪建华1; 王传新1*; 吴雪梅2
1.武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料实验室，湖北 武汉 430074；
2.江苏大学江苏省薄膜材料重点实验室，江苏 苏州 215006
Author(s):
PI Huabin1; XIONG Jun1;  WANG Jianhua1;  WANG Chuanxin1;  WU Xuemei2
1.Key Laboratory of Plasma Chemistry and Advanced Materials of Hubei Province，
Wuhan Institute of Technology， Wuhan 430074，China；2.Key Laboratory of Thin
Films Materials of Jiangsu Province，Jiangsu University，Suzhou 215006，China
关键词:
CVD金刚石; 断裂强度; 耐磨性
Keywords:
CVD diamond;  fracture strength;  wear resistance
分类号:
TQ164
DOI:
-
文献标志码:
A
摘要:
CVD金刚石厚膜的力学性能对CVD金刚石厚膜刀具的寿命有重要影响.研究了微波等离子体CVD和热丝CVD法制备的金刚石膜断裂强度以及耐磨性等力学性能，利用比重测量、SEM、Xray、拉曼光谱等方法对两种厚膜进行了测试.结果表明微波等离子体CVD制备的金刚石厚膜质量、比重和断裂强度要明显高于热丝CVD法制备的金刚石膜，并且具有更好的耐磨性.内部的空洞等缺陷以及晶界的非金刚石相碳含量较多是造成热丝CVD厚膜性能低下的主要原因.
Abstract:
The mechanical properties of CVD diamond flim is highly related to the cutting tools life span. The authors studied the fracture strength and wear resistance of MPCVD and HFCVD diamond flim. Specific gravity test method，Xray spectrum，SEM and Raman spectrum were used to study the diamond thick films．Results show that the quality，specific gravity and the fracture strength of the MPCVD diamond films are better than the HFCVD diamond films， and the former is more wearable. The main reason of low efficiency of mechanical properties of CVD diamond film is that internal cavity defects and that nondiamond phase carbon is higher in grain boundary.

参考文献/References:

［1］卢文壮，左敦稳，王珉，等.CVD金刚石刀具的制备工艺研究［J］.机械工程师， 2003，1（8）：710.
［2］Olsen R H， Dewes R C， Aspinwall D K.Machining of electrically conductive CVD diamond tool blanks using EDM［J］. Journal of Materials Processing Technology，2004，149：627632.
［3］Wei J， Chang J M. Deposition of Diamond Films with Controlled Nucleation and Growth Using Hot Filament CVD［J］.Thin Solid Films， 1992，212：9195.
［4］吕反修，付一良，钟国仿，等.CVD金刚石膜的断裂行为［J］.金属热处理学报，1997，18（3）：117122.
［5］谢希文，过梅丽.材料科学基础［M］.北京：北京航空航天大学出版社，1999：163.
［6］吕反修，唐伟忠，李成明，等.大面积光学级金刚石自支撑膜研究进展［J］.红外技术，2003，25（4）：17.
［7］罗廷礼，蔡云虹，张平伟，等.用浮力法测量金刚石膜的密度［J］.河北省科学院学报，2000，17（3）：149152.

相似文献/References:

备注/Memo

备注/Memo:
收稿日期：20080227基金项目：湖北省自然科学基金（2007ABA006）以及湖北省教育厅重点项目(2007)
作者简介：皮华滨（1982 ），男，湖北咸宁人，硕士研究生.研究方向：等离子体技术及其应用.
指导老师：王传新，男，博士，教授，硕士生导师.研究方向：等离子体技术及其应用.
更新日期/Last Update: