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[1]熊军,汪建华*,王传新,等.热丝CVD法制备大面积金刚石厚膜[J].武汉工程大学学报,2008,(01):80-82.
　XIONG Jun,WANG Jian hua,WANG Chuan xin,et al.Large area diamond thick film deposited by HFCVD[J].Journal of Wuhan Institute of Technology,2008,(01):80-82.
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热丝CVD法制备大面积金刚石厚膜(/HTML)
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《武汉工程大学学报》[ISSN:1674-2869/CN:42-1779/TQ]

卷:
期数:
2008年01期
页码:
80-82
栏目:
材料科学与工程
出版日期:
2008-01-30

文章信息/Info

Title:
Large area diamond thick film deposited by HFCVD
文章编号:
10044736(2008)01008003
作者:
熊军; 汪建华*; 王传新; 邢文娟; 谢鹏; 皮华滨; 吴斌
武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室，武汉 430074
Author(s):
XIONG Jun; WANG Jianhua; WANG Chuanxin; XING Wenjuan; XIE Peng; PI Huabin; WU Bin
Key Laboratory of Plasma Chemistry and Advanced Materials of Hubei Province,
Wuhan Institute of Technology, Wuhan 430074，China
关键词:
热丝化学气相沉积; 金刚石厚膜; 质量;  纯度
Keywords:
hotfilament CVD;  diamond thick film; quality;  purity
分类号:
O 484.1
DOI:
-
文献标志码:
A
摘要:
采用热丝化学气相沉积（HFCVD）设备与工艺，在直径为90 mm 的钨基体上，以丙酮为碳源，制备了(111) 取向的大面积金刚石厚膜，厚膜平均厚度达到1.2 mm.用Xray衍射、扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱（Raman）对金刚石厚膜的织构、形貌和成分进行了分析，结果表明所制备的金刚石厚膜质量很好且有较高纯度.
Abstract:
Large area (111) oriented diamond thick films of high quality have been synthesized successfully by the hot filament CVD unit and technique, with gaseous acetone as carbon source and tungsten as a substrate, the diameter of which is 90 mm reported in the study. The films produced by HFCVD are analyzed by Xray, SEM and Raman spectrum. The results show that the films with high quality and purity are obtained.

参考文献/References:

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备注/Memo

备注/Memo:
收稿日期：20061127
基金项目：湖北省科技攻关计划（2002AA105A02）和湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队资助项目.
作者简介：熊军（1982），男，湖北武汉人，硕士研究生.研究方向：金刚石刀具的制备及应用. *通讯联系人
汪建华，男，博士，教授，博士生导师.研究方向：金刚石刀具的制备及应用.
更新日期/Last Update: